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碳化硅晶圓ID激光標刻設備

全自動晶圓激光標刻機主要是對各種外延硅晶圓片、先進封裝復合晶圓、SIC晶圓進行精密標記;適用于6inch,8inch,12inch晶圓打碼

產品描述

產品特點:

• 專業(yè)料盒上下料,機械手取料、打標、放料回原位

• 全自動運行,視覺自動尋邊定位機構,加工效率高

• 自動檢測料盒有無產品,機械手自帶Mapping功能,可選擇雙面打標

• 晶圓機械手完成設備內的晶圓片運轉,JEL專用晶圓機械手

• 標配99.995%0.3um過濾的FFU,有效保障機內潔凈度

 

產品應用領域:

全自動晶圓激光標刻機主要是對各種外延硅晶圓片、先進封裝復合晶圓、SIC晶圓進行精密標記;適用于6inch,8inch,12inch晶圓打碼

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